第一七一八章 ASML侵犯专利 (第2/2页)
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台积电去年7月就向ASML预定了20台65nm制程工艺的浸没式光刻机（命名为XT 1400i浸没式光刻机）的同时，为了赶时间，一条65nm制程工艺半导体生产线的�
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