第856章 【新微半导体阶段性重大突破】 (第2/2页)
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是逆ASML光刻机小型化的思路，就是直接建设一个超大功率的光源总站，通过高能加速光源环形光道，光道上可以分布几十个、上百个乃至更多的激光�
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