第一六五九章 从低端数控系统开始研发 (第2/2页)
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，BSEC投资1亿元，带领光刻机光源研究所，静下心来开始研发EUV激光器，先后投资了3.6亿元，还在研究之中。
2002年1月18日，由GCA和悟空天使投�
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